特許

J-GLOBAL ID：200903079049425016

パターン欠陥検出方法と装置

発明者： 小林 弘太郎 ,  脇谷 康一 ,  湯川 典昭
出願人/特許権者： 松下電器産業株式会社
代理人 (1件)： 石原 勝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-210182
公開番号（公開出願番号）：特開2001-033227
出願日： 1999年07月26日
公開日（公表日）： 2001年02月09日
要約：

【要約】【課題】 基準値に対して一様に太く、または一様に細い欠陥、微小な変化や微小な欠陥でも高精度に検出できるようにする。【解決手段】 線状のパターン2を撮像して得た原画像データ6を、その画素値から検出したパターン2の線幅と基準幅との差を判定用画素値として各線幅検出位置のアドレスに対応してマッピングした判定用画像データ8に変換し、この判定用画像データ8の各判定用画素値によりパターン2の欠陥を検出するようにして、上記の目的を達成する。

請求項（抜粋）：

線状のパターンを撮像して得た原画像データを、その各画素値から検出したパターンの線幅と基準幅との差を判定用画素値として各線幅検出位置のアドレスに対応してマッピングした判定用画像データに変換し、この判定用画像データの各判定用画素値によりパターンの欠陥部を検出することを特徴とするパターン欠陥検出方法。

IPC (5件)：

G01B 11/30 ,  G01B 11/02 ,  G01B 11/24 ,  G06T 7/00 ,  H05K 3/00

FI (5件)：

G01B 11/30 A ,  G01B 11/02 H ,  H05K 3/00 V ,  G01B 11/24 K ,  G06F 15/62 405 A

Fターム (55件)：

2F065AA12 ,  2F065AA22 ,  2F065AA49 ,  2F065AA56 ,  2F065BB02 ,  2F065BB15 ,  2F065BB18 ,  2F065CC25 ,  2F065DD06 ,  2F065FF02 ,  2F065FF42 ,  2F065GG21 ,  2F065GG24 ,  2F065HH12 ,  2F065HH13 ,  2F065HH15 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ09 ,  2F065JJ26 ,  2F065MM03 ,  2F065PP11 ,  2F065QQ00 ,  2F065QQ03 ,  2F065QQ23 ,  2F065QQ24 ,  2F065QQ25 ,  2F065QQ27 ,  2F065QQ28 ,  2F065QQ32 ,  2F065RR09 ,  2F065SS09 ,  5B057AA03 ,  5B057BA02 ,  5B057BA30 ,  5B057CA02 ,  5B057CA08 ,  5B057CA12 ,  5B057CA16 ,  5B057CB02 ,  5B057CB08 ,  5B057CB12 ,  5B057CB16 ,  5B057CC03 ,  5B057CE06 ,  5B057CH08 ,  5B057CH11 ,  5B057DA03 ,  5B057DA07 ,  5B057DA08 ,  5B057DA17 ,  5B057DB02 ,  5B057DB05 ,  5B057DB09 ,  5B057DC03 ,  5B057DC16