特許
J-GLOBAL ID：200903079053953566
イーシーアール装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
谷 義一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-013845
公開番号（公開出願番号）：特開平6-267901
出願日： 1994年02月07日
公開日（公表日）： 1994年09月22日
要約：
【要約】【目的】 熱伝達ガスを利用してウェハ温度を均一にしてウェハの均一なエッチング特性を達成し、同時にウェハの冷却が容易なECR装置を提供する。【構成】 中央に小さい孔を有し、周縁部にO-リングが形成される円形ウェハ支持台8と、前記中央孔の間に設けられてウェハを持ち上げるウェハリフタ16と、前記ウェハリフタ16と一定ギャップを有しかつウェハ温度を伝達する熱伝達ガスが軸内に流れられるよう縦方向に形成された中空軸15と、前記ウェハ支持台8内に形成されてた冷媒循環部25と、冷却水を供給する冷媒投入ライン23と、前記中空軸15と冷媒ライン23を囲む支持ハウジング17と、前記中空軸15と連結されてクランプをウェハ周囲に圧着するクランプリフタ14と、ECR全体システムを移動させるステッピングモータ1とを含みなる。
請求項（抜粋）：
イーシーアール(ECR)装置において、中央部に小さい中央孔を有し、かつウェハが置かれる周縁部にO-リングが設けられおり、当該O-リング上に前記ウェハが載置されるウェハ支持台と、前記ウェハ支持台の前記中央孔内に設けられて、前記ウェハを持ち上げるウェハリフタと、前記ウェハリフタと一定のギャップをおいて当該ウェハリフタの延長線下方に縦方向に設けられ、かつ内部に流れる熱伝達ガスを前記ウェハと前記ウェハ支持台との間に供給する中空軸と、前記ウェハ支持台内に設けられて前記熱伝達ガスにより当該ウェハ支持台に伝達された熱を冷す冷媒循環部と、この冷媒循環部に循環する冷却媒体を供給する、前記中空軸と並んで縦方向に設けられた冷媒投入ラインと、前記中空軸と前記冷媒投入ラインとを囲む支持ハウジングと、前記中空軸と連結され、当該中空軸が上下運動するときに共に動いて前記ウェハを周囲から圧着するクランプを移動するクランプリフタと、前記ウェハ支持台と真空チャンネルを有する工程チャンバハウジングとの上下位置を調整することにより、ECR電極全体システムを移動させるステッピングモータとを具備することを特徴とするイーシーアール装置。
IPC (2件)：
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