特許

J-GLOBAL ID：200903079058849953

高周波誘導結合プラズマ質量分析計

発明者： 松浦 民三 ,  天野 俊寿
出願人/特許権者： 横河アナリティカルシステムズ株式会社
代理人 (1件)： 島田 義勝 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-200246
公開番号（公開出願番号）：特開平9-035681
出願日： 1995年07月14日
公開日（公表日）： 1997年02月07日
要約：

【要約】【目的】 サンプリングコーンやスキマコーンの先端の詰まり、レンズ系の汚れを防ぐとともに、メンテナンス周期の長期化を図った高周波誘導結合プラズマ質量分析計を提供すること。【構成】 第1実施例に係る導入制限手段は、被測定元素の分析中は前記サンプリングコーン6の中心部分(サンプル導入孔6a)がプラズマトーチ1の中心軸C上に位置するように、プラズマトーチ1を配置し、一方、待ち時間中はプラズマトーチ1の中心軸上に前記サンプリングコーン6の中心部分が位置しないようにプラズマトーチ1をずらすもので、図1に示すように、前記プラズマトーチ1を支持するトーチ台1Aと、作動源としてのソレノイド1Cとトーチ台1Aとを連結し、トーチ台1Aを回動させる伝達機構としてのリンク機構1Bから構成されている。

請求項（抜粋）：

高周波誘導結合プラズマによって試料を励起し、イオン化された試料をサンプリングコーンとスキマコーンを介して質量分析計に導いて、前記試料中の被測定元素を分析する高周波誘導結合プラズマ質量分析計において、前記質量分析計を構成するマスフィルタのマス軸設定の待ち時間中に、前記のイオン化された試料のサンプリングコーンへの導入を制限する流体導入制限手段を設けたことを特徴とする高周波誘導結合プラズマ質量分析計。

IPC (3件)：

H01J 49/04 ,  H01J 49/26 ,  G01N 27/62

FI (3件)：

H01J 49/04 ,  H01J 49/26 ,  G01N 27/62 F