特許

J-GLOBAL ID：200903079062193396

窒化珪素品の製造方法

発明者： 村里 真寛 ,  ▲昇▼ 和宏 ,  左近 淳司 ,  梅本 鍠一
出願人/特許権者： 日本碍子株式会社
代理人 (1件)： 杉村 暁秀 (外5名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-072894
公開番号（公開出願番号）：特開平7-257975
出願日： 1994年03月18日
公開日（公表日）： 1995年10月09日
要約：

【要約】【目的】窒化珪素焼結体の強度を、他の物性に悪影響を与えることなく、向上させることである。【構成】窒化珪素品を製造するのに際し、窒化珪素焼結体の表面を加工し、次いで加工後の窒化珪素焼結体を減圧下に1000°C〜1400°Cで熱処理して窒化珪素品を得る。この熱処理により、図1の白い靄や加工傷が消失していた。好ましくは、窒化珪素焼結体を前記熱処理に供したときに、窒化珪素焼結体の重量を減少させる。好ましくは、窒化珪素焼結体の重量の減少量が、単位面積当たり21mg/cm2 以下である。

請求項（抜粋）：

窒化珪素焼結体の表面を加工し、次いで加工後の窒化珪素焼結体を減圧下に1000°C〜1400°Cで熱処理して窒化珪素品を得ることを特徴とする、窒化珪素品の製造方法。

IPC (2件)：

C04B 35/584 ,  C04B 41/80