電子線照射装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：山本惠二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-299454
公開番号（公開出願番号）：特開2001-116898
出願日： 1999年10月21日
公開日（公表日）： 2001年04月27日
要約：

【要約】【課題】真空容器の開口部付近における等電位面の照射窓側への膨らみを抑えて、電子の取出し効率を向上させる。【解決手段】真空容器2の開口部6付近に、当該開口部6に沿って、真空容器2と同電位の細長い中央電極42を配置した。この中央電極42によって、開口部6付近の等電位面Eの照射窓20側への膨らみが抑えられるので、加速中の電子18の外側への拡がりが抑えられ、電子18の取出し効率が向上する。

請求項（抜粋）：

筒状の容器であって、その側面部に当該容器の軸に沿って設けられた開口部を有する真空容器と、電子を放出するものであって、前記真空容器内に当該真空容器の軸に沿って設けられており、かつ前記真空容器との間に電子加速用の加速電圧が印加される電子源と、前記真空容器の開口部に接続枠体を介して取り付けられていて、前記真空容器の内外を分離すると共に前記電子源からの電子を透過させる窓箔を有する照射窓とを備える電子線照射装置において、前記真空容器の開口部付近に、当該開口部に沿って、前記真空容器と同電位の細長い中央電極を配置していることを特徴とする電子線照射装置。

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