特許

J-GLOBAL ID：200903079074551212

共焦点光スキャナ

発明者： 杉山 由美子 ,  田名網 健雄
出願人/特許権者： 横河電機株式会社
代理人 (1件)： 渡辺 正康
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-284813
公開番号（公開出願番号）：特開平9-127425
出願日： 1995年11月01日
公開日（公表日）： 1997年05月16日
要約：

【要約】【課題】試料の深さ方向のスキャンと双眼レンズへの視差スキャンを1個のアクチュエータで行い、同期回路を不要とした共焦点光スキャナを実現する。【解決手段】微小開口をアレイ状に配置したニポウディスクを高速回転させる機構と、前記ニポウディスクと対物レンズの間に配設され試料上でのピント位置を変化させるレンズと左右の接眼レンズへの視差を変化させる光学系と、前記試料上でのピント位置を変化させるレンズと光学系を一体として同時に動かす1つのアクチュエータを備える。

請求項（抜粋）：

微小開口をアレイ状に配置したニポウディスクを高速回転させる機構と、前記ニポウディスクと対物レンズの間に配設され試料上でのピント位置を変化させるレンズと左右の接眼レンズへの視差を変化させる光学系と、前記試料上でのピント位置を変化させるレンズと光学系を一体として同時に動かす1つのアクチュエータを具備し、前記接眼レンズより試料の3次元画像が観察できるように構成した共焦点光スキャナ。