圧電アクチュエータおよびその製造方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：大川宏
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-296569
公開番号（公開出願番号）：特開平10-144974
出願日： 1996年11月08日
公開日（公表日）： 1998年05月29日
要約：

【要約】【課題】低電圧で作動しながら十分な発生力または変位を得ることができる面変形素子である圧電アクチュエータと、その製造方法とを提供すること。【解決手段】本発明の圧電アクチュエータ1は、バネ弾性を持つ薄板である弾性板5と、弾性板5の表面に接合されている圧電材料からなる薄板である圧電板2と、圧電板2の厚さ以下の間隔で圧電板2に形成されている複数の溝2aの中に収容されており圧電材料を挟んで隣接している第1電極31および第2電極32とを有する。本圧電アクチュエータ1は、両電極31,32の間隔が狭いので印加電圧が低くても十分に高い電界が生じ、そのうえ圧電定数d31の倍程度の圧電定数d33を利用できるので、低電圧でもより大きな発生力および最大変位を発揮できる。

請求項（抜粋）：

バネ弾性を持つ薄板である弾性板と、該弾性板の少なくとも一方の表面に接合されている圧電材料からなる薄板である圧電板と、該圧電板の厚さ以下の間隔で該圧電板に形成されている複数の溝の中に導電材が充填されており、互いに該圧電材料を挟んで隣接している該導電材から形成されている第1電極および第2電極と、を有することを特徴とする、圧電アクチュエータ。

IPC (4件)：

H01L 41/09 , H01L 21/68 , H01L 41/22 , H02N 2/00

FI (4件)：

H01L 41/08 L , H01L 21/68 N , H02N 2/00 B , H01L 41/22 Z

引用特許：

審査官引用 (10件)

特開昭64-050487
特開平1-205582
特開昭54-069362

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