感光性樹脂組成物

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：上田章三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-328637
公開番号（公開出願番号）：特開平7-181676
出願日： 1993年12月24日
公開日（公表日）： 1995年07月21日
要約：

【要約】【目的】カラーフィルター層等の着色パターン層を透明基板上に高精度で形成できる方法に好適に使用される感光性樹脂組成物を提供すること。【構成】ガラス基板1上に、ブチルメタクリレートとメチルメタクリレートとメタクリル酸等の共重合体から成るアクリル系樹脂、アクリル系モノマー、光重合開始剤、希釈溶剤を含む感光性樹脂組成物2を塗布し、露出・現像してパターン化し、パターン化されたこの組成物層から成る型枠とガラス基板の露出部とで構成される凹部内に着色ガラスペースト4'を充填し、かつ焼成処理してカラーフィルター層4を形成する。この感光性樹脂組成物を使用した形成法によれば露光・現像処理によりパターン化された型枠のパターン形状と形成位置とに対応してカラーフィルター層の形状と形成位置とが決定されるため、カラーフィルター層のパターン形状と形成位置を光学的限界まで精度良く制御できる。

請求項（抜粋）：

アクリル系樹脂、アクリル系モノマー、光照射によりアクリル系モノマーの重合を開始させる光重合開始剤、及び、希釈溶媒を含有する感光性樹脂組成物を透明基板上に塗布し、露光・現像してパターン化すると共に、パターン化された感光性樹脂組成物層より成る型枠と透明基板の露出部とで構成される凹部内に着色組成物を充填した後、上記型枠を除去して透明基板上に着色組成物から成る着色パターン層を形成する方法に使用される感光性樹脂組成物において、上記アクリル系樹脂が、下記化学式(1)で表されるモノマーと下記化学式(2)で表されるモノマーと下記化学式(3)で表されるモノマーとの共重合体により構成されていることを特徴とする感光性樹脂組成物。【化1】(但し、式中、R1 は炭素数1〜5のアルキル基を示す)【化2】【化3】

IPC (6件)：

G03F 7/038 , G02B 5/20 101 , G03F 7/027 502 , G03F 7/031 , G03F 7/033 , H01L 21/027

引用特許：

審査官引用 (4件)

特開平2-113252
特開平4-223391
特開平3-127429

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