特許
J-GLOBAL ID：200903079101511554
ウエハの枚葉検出装置
発明者：
出願人/特許権者：
,
代理人 (1件)：
中本 菊彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-308145
公開番号（公開出願番号）：特開平6-120325
出願日： 1992年10月22日
公開日（公表日）： 1994年04月28日
要約：
【要約】【目的】 透明乃至半透明のウエハに対してもその有無、枚数及び配列状態を高精度に検出できるウエハの枚葉検出装置を提供する。【構成】 透過光式検出手段の発光素子7と受光素子8をウエハ3列の両側に互い違いに配置すると共に、受光素子8に偏光フィルタ17を設ける。偏光フィルタ17の透過軸方向は適正な配列状態のウエハ3面に対して平行に設定する。これにより、ウエハ面に対して平行に直線偏光された光のみをウエハ3に入射させて、ウエハ3による光の反射を極力抑えることができ、検出すべきウエハ3からの透過光の強度に基いてウエハ3の有無、枚数及び配列状態を確実に検出することができる。
請求項（抜粋）：
適宜間隔をおいて配列されるウエハの有無、枚数及び配列状態を検出するウエハの枚葉検出装置において、透過光式検出手段の発光部と受光部をウエハ列の両側に互い違いに配置すると共に、これら発光部と受光部の少なくとも一方に偏光フィルタを設けたことを特徴とするウエハの枚葉検出装置。
IPC (3件)：
H01L 21/68
, G06M 7/00 331
, H01L 31/12
