特許
J-GLOBAL ID：200903079110381191
基板検査装置
発明者：
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出願人/特許権者：
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公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-330868
公開番号（公開出願番号）：特開平6-196538
出願日： 1992年10月27日
公開日（公表日）： 1994年07月15日
要約：
【要約】【目的】 セラミックス基板の回路パターンの位置ずれ、傾きに応じて検査ユニットを自動的に位置決めし、同時にセラミックス基板をその収縮率に応じて選別して取出せる基板検査装置を提供する。【構成】 XY平面上およびθ方向の位置決め機構に検査ユニット8を昇降自在に設け、検査ユニット8の側方にCCDカメラ6を取付ける。CCDカメラ6、検査ユニット8それぞれの下方で停止するワーク移載台41を配置し、CCDカメラにより検出されるセラミックス基板上の2個のマークの位置、この間の距離から位置ずれ、傾きならびにセラミックス基板の収縮率を算出するよう構成する。【効果】 セラミックス基板上の回路パターンの位置ずれ、傾きに拘わらず、所定の検査を確実に行えるばかりか、セラミックス基板を取出す際にセラミックス基板の収縮率に応じて選別して取出せ、不良検出から選別取出しまでの工程を高速化ができる。
請求項（抜粋）：
回路パターンの姿勢を示すマークを持つセラミックス基板が載置されるワーク移載台を水平方向に往復移動させる移動手段を配置するとともに、このワーク移載台の移動路の上方に位置して、ワーク移載台上のセラミックス基板のマークの位置を検出するCCDカメラを配置し、さらに、前記CCDカメラから水平方向に所定距離離れた位置で、ワーク移載台の移動路の上方に位置して所定検査を行う検査ユニットのプローブピンをXY平面上で移動させかつθ方向に回転させる位置決め機構を昇降するように配置する一方、前記CCDカメラにより検出される少なくとも2個のマークの位置から回路パターンの位置ずれ量および傾き量を算出する演算部を持ち、ワーク移載台が位置決め機構の下方に位置すると前記位置ずれ量および傾き量に応じて位置決め機構を作動させる制御部を設けるとともに、この制御部に焼成前の生セラミックス基板上の少なくとも2個のマーク間の距離を記憶する記憶部とこの2個のマーク間の距離および被検査セラミックス基板上の2個のマーク間の距離からセラミックス基板の収縮率を算出する演算部とを設けたことを特徴とする基板検査装置。
IPC (3件)：
H01L 21/66
, H05K 3/00
, C04B 35/64
