特許

J-GLOBAL ID：200903079120855540

X線入射窓

発明者： 清水 一明 ,  河原 直樹
出願人/特許権者： 理学電機工業株式会社
代理人 (1件)： 杉本 修司 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-019458
公開番号（公開出願番号）：特開平9-189771
出願日： 1996年01月09日
公開日（公表日）： 1997年07月22日
要約：

【要約】【課題】 軟X線の透過率を向上させたX線入射窓を提供する。【解決手段】 厚さ1000オングストローム以上10000オングストローム以下の樹脂薄膜3に、厚さ100オングストローム以上300オングストローム以下のスカンジウムを主成分とする金属薄膜2を蒸着したX線入射窓1。

請求項（抜粋）：

厚さ1000オングストローム以上10000オングストローム以下の樹脂薄膜に、厚さ100オングストローム以上300オングストローム以下のスカンジウムを主成分とする金属薄膜を蒸着したX線入射窓。

引用特許：

審査官引用 (1件)

• X線検出器
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-030734   出願人：エヌ・ベー・フィリップス・フルーイランペンファブリケン