特許
J-GLOBAL ID：200903079126760923
フォトマスク保護用粘着シートもしくはフィルム及びその使用方法
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-025166
公開番号（公開出願番号）：特開平5-224399
出願日： 1992年02月12日
公開日（公表日）： 1993年09月03日
要約：
【要約】【目的】 シートもしくはフィルム基材の「こし」を強くして、フォトマスクとの積層工程でしわが入るのを防止して、密着性を向上させたフォトマスク保護用粘着シートもしくはフィルム、及びその使用方法を提供する。【構成】 基材2の片面に粘着剤層が形成された粘着シートもしくはフィルムの他面に、該基材2の長手方向に沿って補強片1が、積層されている。
請求項（抜粋）：
基材の片面に粘着剤層が形成された粘着シートもしくはフィルムの他面に、該基材の長手方向に沿って補強片が、積層されていることを特徴とするフォトマスク保護用粘着シートもしくはフィルム。
IPC (2件)：
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