インクジェット記録ヘッドおよびその製造方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：高野明近 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-241644
公開番号（公開出願番号）：特開平10-086364
出願日： 1996年09月12日
公開日（公表日）： 1998年04月07日
要約：

【要約】【課題】振動板と基板の間に比誘電率の高い物質を容易、かつ、均一に充填することができ、しかも低電圧で駆動することができるインクジェット記緑ヘッドを提供する。【解決手段】振動部材2に薄い第1振動板7を形成し、基板1にギャップを形成してその各々を接合することにより、均一なギャップGを得る。Siの異方性エッチングにより、基板1の一部に基板1と第1振動板7の間のギャップに連通する比誘電率の高い物質を充填するための充填室5を形成し、比誘電率の高い物質を均一に充填する。第1振動板7と基板1に設けられた電極間8,9への電圧Vの印加により、第1振動板7の変形の復帰時に第1振動板7に隣接して設けた加圧室6の圧力変化により、ノズル3aからインクを吐出する。

請求項（抜粋）：

第1の電極を有する第1の振動板と、該第1の振動板に対して所定のギャップをもって対向して配設された第2の電極を有する基板と、前記ギャップに充填された充填部材と、記録液体を充填する加圧室と、該加圧室に連通し前記記録液体を吐出するノズルとを有し、前記第1および第2の電極間の電圧印加による前記第1の振動板の変位に伴って、前記充填部材を介して前記加圧室の圧力が上昇することにより、前記記録液体を前記ノズルから吐出するインクジェット記録ヘッドにおいて、前記ギャップに連通する充填室を前記基板の一部に設けたことを特徴とするインクジェット記録ヘッド。

IPC (3件)：

B41J 2/045 , B41J 2/055 , B41J 2/16

FI (2件)：

B41J 3/04 103 A , B41J 3/04 103 H

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