特許

J-GLOBAL ID：200903079147334304

移載装置

発明者： 西 寛信
出願人/特許権者： 東京エレクトロン東北株式会社
代理人 (1件)： 井上 俊夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-085754
公開番号（公開出願番号）：特開平6-271009
出願日： 1993年03月18日
公開日（公表日）： 1994年09月27日
要約：

【要約】【目的】 複数のリング状の保持部材が上下方向に配列された、例えば縦型熱処理装置に用いられるウエハボートと、収納具例えばウエハキャリアとの間で効率よく半導体ウエハを移載すること。【構成】 独立して進退自在な複数例えば2枚のフォーク7A、7Bを備えた移載機構を用い、キャリアC内に2枚のフォーク7A、7Bを同時に進入させて2枚のウエハWを同時にすくい上げる。そしてウエハボート4内に上側のフォーク7Aを進入させ、突き上げ機構6によりフォーク7A上のウエハを突き上げ、フォーク7Aを後退させた後保持部材44上に載置する。次いで下側のフォーク7Bを進入させ、同様にして、ウエハWを保持部材44上に受け渡す。ウエハボート4から移載機構5へウエハを受け渡すときには、下側のフォークから順番にウエハボート4内に進入させる。

請求項（抜粋）：

複数の板状体の周縁部を夫々保持するための複数のリング状の保持部材が上下方向に配列された保持具と、各板状体の側縁部を保持して複数の板状体を上下方向に配列して収納する収納具と、の間で板状体を移載する装置において、前記保持具内に位置する板状体を突き上げる突き上げ機構と、上下方向に配列され、各々独立して進退自在であると共に保持具及び収納具に対して相対的に昇降自在な複数の搬送部材を備えた移載機構と、前記複数の搬送部材を同時に収納具内に進入させて当該搬送部材と収納具との間で板状体の受け渡しを行うと共に、複数の搬送部材を順番に保持具内に進入させ、前記移載機構と突き上げ機構と協働して搬送部材と保持部材との間で板状体の受け渡しを行うように制御する制御部と、を備えてなることを特徴とする移載装置。

IPC (8件)：

B65G 1/04 ,  B65G 1/07 ,  B65G 49/07 ,  C30B 25/12 ,  H01L 21/22 ,  H01L 21/31 ,  H01L 21/324 ,  H01L 21/68

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開平3-083730
  
• 特開平4-030552
  
• 特開昭61-291335