特許

J-GLOBAL ID：200903079148856789

静電チャック

発明者： 佐伯 弘明 ,  浅川 輝雄 ,  増岡 昇 ,  近藤 昌樹
出願人/特許権者： 東京エレクトロン株式会社
代理人 (1件)： 井上 俊夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-351967
公開番号（公開出願番号）：特開平6-177078
出願日： 1992年12月08日
公開日（公表日）： 1994年06月24日
要約：

【要約】【目的】 低電圧で強い吸着力が得られると共に、残留吸着力を生じない静電チャックを提供すること。【構成】 サセプタ2のウエハ載置面に半導体からなる抵抗体層3を配設する。抵抗体層3と半導体ウエハWとの接触面にはわずかな隙間が存在し、直流電源36から抵抗体層3の下面に設けられた対向電極32へ電圧を印加すると、半導体ウエハWの下面と抵抗体層3の上面の電位に差が生じる。この電位の差すなわち接触電位差によって静電気力が発生し、この静電気力によって半導体ウエハWが抵抗体層3に吸着される。また残留吸着力の原因と考えられる水分の電離によって生じるOH- の電荷は抵抗体層3を介してグラウンドへ流れるため、残留吸着力の発生が抑えられる。

請求項（抜粋）：

サセプタの載置面に被保持体を静電気力で吸着保持するための静電チャックにおいて、前記サセプタの載置面に絶縁体と導電体との間の抵抗値を有する抵抗体層を形成し、この抵抗体層の表面と被保持体の裏面との間の接触電位差により被保持体を抵抗体層に吸着保持するように構成したことを特徴とする静電チャック。

IPC (4件)：

H01L 21/302 ,  B23Q 3/15 ,  H01L 21/68 ,  H02N 13/00

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開平3-204924
  
• 特開平4-003956
  
• 特開平2-304946
  
• 特開平4-238882