特許

J-GLOBAL ID：200903079149317695

静電アクチュエータ

発明者： 今野 信次 ,  福山 尚志 ,  山本 正弘
出願人/特許権者： 三菱化学株式会社
代理人 (1件)： 長谷川 曉司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-250792
公開番号（公開出願番号）：特開平7-184377
出願日： 1994年10月17日
公開日（公表日）： 1995年07月21日
要約：

【要約】 (修正有)【目的】 小型で低コストの駆動電圧制御装置をもった静電アクチュエータを提供する。【構成】 駆動電圧制御部が直流高圧電源部10と高電圧スイッチング部11及び駆動制御部12から構成されており、直流高圧電源部10はトランスの高周波発振により昇圧した後、整流により正負の直流高電圧を得るように構成されているか、または駆動電圧制御部が直流高圧電源部10及び駆動制御部から構成されており、駆動制御部から出力される駆動制御信号を該直流高圧電源部の1個以上の昇圧・整流回路を介して直流高電圧パターンを得るように構成されている静電アクチュエータ。

請求項（抜粋）：

絶縁性支持体上に所定の方向に且つ所定の間隔を設けて配置された互いに絶縁された複数の駆動電極を有する第1の部材と、絶縁性薄葉体に正負の電荷を付与するための手段を設けた第2の部材とが接するように配置されており、駆動電極への印加電圧の切り替えにより生じる第1の部材と第2の部材との間の静電気のクーロン力によって第1の部材と第2の部材の相対位置を変化させるための電圧を電極に印加する駆動電圧制御部を備えた静電アクチュエータにおいて、該駆動電圧制御部が直流高圧電源部と高電圧スイッチング部及び駆動制御部から構成されており、直流高圧電源部はトランスの高周波発振により昇圧した後、整流により正負の直流高電圧を得るように構成されていることを特徴とする静電アクチュエータ。