特許

J-GLOBAL ID：200903079159119255

断層撮影装置

発明者： 平野 辰巳
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所
代理人 (1件)： 鵜沼 辰之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-200330
公開番号（公開出願番号）：特開平8-062159
出願日： 1994年08月25日
公開日（公表日）： 1996年03月08日
要約：

【要約】【目的】 試料と軸調整用治具とを交換することなく、試料台の回転中心と検出器の中心とのずれを示す軸ずれを検出し、この軸ずれを補正できること。【構成】 X線源1から出射されたX線3は、スリット2により成型された後、分光器4により単色化される。単色化されたXせん3が試料5の近傍に設けた軸調整用治具8を透過し、この透過像がX線検出器7で計測される。このような計測を行うに際して、試料台が0度の位置における透過像を計測する。この後、軸調整用治具8を試料5と共に試料台駆動部10の駆動により180 ゚回転させ、このときの軸調整用治具8の透過像を計測する。そして、両者の透過像の差を、試料台の回転中心と検出器7の中心とのずれを示すずれ量として求める。次に、ずれ量を零とするために、試料台駆動部10或は検出器駆動部11の駆動により試料台6あるいはX線検出器7をy方向に移動させてずれ量を補正する。

請求項（抜粋）：

試料を固定する試料台と、前記試料台に固定された試料に向けて電磁波を照射する電磁波照射手段と、前記試料を透過した電磁波を電磁波検出面で受けて電磁波の入射位置に応じた透過像の信号を出力する電磁波検出手段と、前記試料台に固定されて少なくとも一部が前記電磁波照射手段と前記電磁波検出手段とを結ぶ電磁波伝送路上に挿入されて前記電磁波検出手段の電磁波検出面に透過像を形成する軸調整用治具と、前記試料台を回転駆動する回転駆動手段と、前記電磁波検出手段の検出による軸調整用治具の透過像のうち試料台の相異なる回転位置での透過像に関する信号から前記回転駆動手段の回転中心と前記電磁波検出手段の電磁波検出面の中心とのずれ量を算出するずれ量算出手段とを備えている断層撮影装置。