特許
J-GLOBAL ID：200903079161631087
真空処理装置用の回転シール機構および真空処理装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
角田 嘉宏
, 古川 安航
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-204063
公開番号（公開出願番号）：特開2007-023312
出願日： 2005年07月13日
公開日（公表日）： 2007年02月01日
要約：
【課題】 シール部材のシール性能を適正に判定することを可能にした真空処理装置用の回転シール機構および真空処理装置を提供する。【解決手段】 回転シール機構101は、筒状の中空回転軸25と、筒状のケーシング部材23と、中空回転軸25を回転可能な駆動装置31と、ケーシング部材23の外部から中空回転軸25の中空部に亘るように形成された冷却液体の流路H1、H2と、前記流路H1、H2の途中に位置して、中空回転軸25またはケーシング部材23の少なくとも何れか一方に設けられた環状かつ溝状の冷却液体貯留部S1と、冷却液体貯留部S1をシールする一対の環状のシール部材51、52と、中空回転軸25の回転時の、シール部材51、52の液体シール性能に関連する情報を検知する検知手段82と、この情報に基づいて、シール部材51、52の液体シール性能を判定する制御装置80と、を備える。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
筒状の中空回転軸と、
前記中空回転軸の外側に位置するようにして前記中空回転軸と同軸状に嵌合し、前記中空回転軸を回転自在に支持する筒状のケーシング部材と、
前記中空回転軸を回転可能な駆動装置と、
前記ケーシング部材の外部から前記中空回転軸の中空部に亘るように形成された冷却液体の流路と、前記流路の途中に位置して、前記中空回転軸または前記ケーシング部材の少なくとも何れか一方に設けられた環状かつ溝状の冷却液体貯留部と、
前記中空回転軸と前記ケーシング部材との隙間に前記冷却液体貯留部を挟むように配設され、前記冷却液体貯留部をシールする一対の環状のシール部材と、
前記中空回転軸の回転時の、前記シール部材の液体シール性能に関連する情報を検知する検知手段と、
前記情報に基づいて、前記シール部材の液体シール性能を判定する制御装置と、
を備えた真空処理装置用の回転シール機構。
IPC (3件)：
C23C 14/00
, F16J 15/00
, F16J 15/16
C23C14/00 B
, F16J15/00 E
, F16J15/16 B
3J043AA16
, 3J043BA06
, 3J043DA20
, 4K029CA03
, 4K029CA05
, 4K029JA01
, 4K029KA06
