特許
J-GLOBAL ID：200903079163568650
アクティブマトリクス素子、及びアクティブマトリクス素子を用いた発光素子、光変調素子、光検出素子、露光素子、表示装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
萩野 平 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-203720
公開番号（公開出願番号）：特開2000-035591
出願日： 1998年07月17日
公開日（公表日）： 2000年02月02日
要約：
【要約】【課題】 大面積化、高速応答が可能な半導体スイッチに代わるアクティブマトリクス素子を提供する。【解決手段】 走査信号電極25とデータ信号電極16とをマトリクス状に配置し、その交差部に少なくとも一つのマトリクス駆動手段と、マトリクス駆動手段によって駆動される光機能素子と、を設けたアクティブマトリクス素子35において、マトリクス駆動手段を、静電気力によって作動する機械的導電スイッチ33とした。機械的導電スイッチ33は、静電気応力によって可撓する可撓薄膜23と、可撓薄膜23上の導電膜29と、データ信号電極16と、光機能素子の画素電極27aとを備えて構成され、可撓薄膜23の可撓によって導電膜29がデータ信号電極16及び画素電極27に接触するように構成した。
請求項（抜粋）：
透明基板上に第1走査信号電極列とデータ信号電極列とを交差させて各電極を一次元又は二次元に配置し、その交差部に対して少なくとも一つのマトリクス駆動手段と、該マトリクス駆動手段によって駆動される光機能素子とを設けたアクティブマトリクス素子であって、前記マトリクス駆動手段が、静電気力によって作動する機械的導電スイッチであることを特徴とするアクティブマトリクス素子。
Fターム (14件)：
2H092GA05
, 2H092JA21
, 2H092JA27
, 2H092NA22
, 2H092NA25
, 2H092NA26
, 2H092NA27
, 2H092NA28
, 2H092NA29
, 2H092PA06
, 2H092QA07
, 2H092QA11
, 2H092QA12
, 2H092QA18
