特許

J-GLOBAL ID：200903079167688773

ペロブスカイト型構造単結晶用処理液及びペロブスカイト型構造単結晶の処理方法

発明者： 岡崎 均
出願人/特許権者： 株式会社ジャパンエナジー
代理人 (1件)： 並川 啓志
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-257196
公開番号（公開出願番号）：特開平9-077600
出願日： 1995年09月11日
公開日（公表日）： 1997年03月25日
要約：

【要約】【課題】 窒化ガリウム系化合物半導体や酸化物超電導体の成膜に用いられるペロブスカイト型構造単結晶基板に適した処理液を得る。【解決手段】 ペロブスカイト型構造単結晶をリン酸と王水の混合液からなる処理液で処理する。

請求項（抜粋）：

リン酸と王水の混合液からなることを特徴とするペロブスカイト型構造単結晶用処理液。

IPC (7件)：

C30B 33/10 ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/304 341 ,  H01L 21/308 ,  H01L 39/24 ZAA ,  C30B 29/22 ,  H01L 33/00

FI (8件)：

C30B 33/10 ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/304 341 L ,  H01L 21/308 G ,  H01L 39/24 ZAA B ,  C30B 29/22 A ,  C30B 29/22 Z ,  H01L 33/00 C

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 特公平6-104578