特許

J-GLOBAL ID：200903079176824264

粉体攪拌器

発明者： 伊藤 茂生 ,  米沢 禎久 ,  土岐 均
出願人/特許権者： 双葉電子工業株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-323321
公開番号（公開出願番号）：特開平7-150349
出願日： 1993年11月30日
公開日（公表日）： 1995年06月13日
要約：

【要約】【目的】 イオン注入装置やイオンビーム蒸着装置に使用される粉体攪袢器において、粉体の攪袢性を向上させ、かつプラスの電荷に帯電しにくい構成の粉体攪袢器を提供することを目的とする。【構成】 粉体攪袢器11は、基台12と、粉体を収納する容器13と、基台12に対し容器13を支持する支持体15と、支持体15に配設された振動発生部としての一対の圧電素子14,14から構成されている。そして圧電素子14,14に電圧を印加して、容器を振動させることにより粉体を攪袢させるものである。

請求項（抜粋）：

イオン注入装置やイオンビーム蒸着装置に使用される粉体攪拌器において、粉体を収納する容器と、容器を振動させる振動発生部を有することを特徴とする粉体攪拌器。

IPC (2件)：

C23C 14/48 ,  C23C 14/32

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開昭58-031076
  
• 特開昭64-028364
  
• 特開平4-280902