特許
J-GLOBAL ID：200903079179105161
逆反射スクリーンによる表面検査装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
本庄 武男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-180651
公開番号（公開出願番号）：特開平6-026844
出願日： 1992年07月08日
公開日（公表日）： 1994年02月04日
要約：
【要約】【目的】 検査対象物周辺の環境光と光源からの光とによる照度比を一定に保つことにより,欠陥の検出並びに凹凸欠陥の定量化を正確に行い得るようにした逆反射スクリーンによる表面検査装置を提供する。【構成】 逆反射スクリーンによる表面検査装置において,検査対象物5位置の環境照度を測定する照度計6と,該照度計6の測定値に対応して光源4の光度を調整する貧苦演算部7と電力調整部8手段とを具備してなる。検査対象物5位置の環境照度を照度計6によって測定し,環境光と光源から照射光との照度比を一定に保つための光源4への供給電力を比較演算部7で演算し,この演算値に基づいて電力調整部8により光源光度が調整される。従って,環境光の変化に左右されず常に一定した条件で表面検査を実施することができる。
請求項（抜粋）：
逆反射スクリーンと,光源と,検査対象物とを,前記光源からの光が前記検査対象物に当たり反射して,前記逆反射スクリーンに向かうような相対的位置に配置し,検査対象物の表面を光源で照射したときの反射光を逆反射スクリーンで検査対象物に戻し,検査対象物の表面で再反射した光を光源の近傍に配置したカメラで捕らえることにより,検査対象物表面の欠陥部分の凹凸変化を明暗変化に強調された画像として得る逆反射スクリーンによる表面検査装置において,前記検査対象物位置の環境照度を測定する照度計と,該照度計の測定値に対応して前記光源の光度を調整する光源光度調整手段とを具備してなることを特徴とする逆反射スクリーンによる表面検査装置。
IPC (2件)：
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