特許
J-GLOBAL ID:200903079183316649
感光性組成物及び感光性フィルム、並びに、永久パターン及びその形成方法
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (3件):
廣田 浩一
, 流 良広
, 松田 奈緒子
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2005-047735
公開番号(公開出願番号):特開2006-235101
出願日: 2005年02月23日
公開日(公表日): 2006年09月07日
要約:
【課題】 特定構造の光重合開始剤を用いることにより、レーザー露光での高い光感度を有すると共に、該光重合開始剤は融点が低いので溶解性に余裕があるので、所望の濃度にまで容易に増量することができる、製造適性に優れた感光性組成物及びこれを用いた感光性フィルム、並びに、高精細な永久パターン及びその効率的な形成方法の提供。【解決手段】 少なくともバインダー、重合性化合物、光重合開始剤及び熱架橋剤を含有してなる感光性組成物であって、前記光重合開始剤の含有量が、前記感光性組成物の全固形分に対し固形分で7〜20質量%であることを特徴とする感光性組成物である。該光重合開始剤の融点が100°C未満である態様、該光重合開始剤が、モノアシルフォスフィンオキサイド化合物から選択される少なくとも1種である態様、などが好ましい。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
少なくともバインダー、重合性化合物、光重合開始剤及び熱架橋剤を含有してなる感光性組成物であって、前記光重合開始剤の含有量が、前記感光性組成物の全固形分に対し固形分で7〜20質量%であることを特徴とする感光性組成物。
IPC (3件):
G03F 7/031
, C08F 2/50
, G03F 7/004
FI (3件):
G03F7/031
, C08F2/50
, G03F7/004 501
Fターム (31件):
2H025AA01
, 2H025AA02
, 2H025AB15
, 2H025AC01
, 2H025AD01
, 2H025BC13
, 2H025BC42
, 2H025BC74
, 2H025CA35
, 2H025CB08
, 2H025CB10
, 2H025CB14
, 2H025CB17
, 2H025CB43
, 2H025CB47
, 2H025CC17
, 2H025FA17
, 2H025FA29
, 4J011AA05
, 4J011QA03
, 4J011QA13
, 4J011QA17
, 4J011QA23
, 4J011QA24
, 4J011RA03
, 4J011RA04
, 4J011SA84
, 4J011UA01
, 4J011UA02
, 4J011VA01
, 4J011WA01
引用特許:
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