特許

J-GLOBAL ID：200903079183385527

揺動角度検出方法および装置並びに光ディスク装置

発明者： 和泉 晴彦
出願人/特許権者： 富士通株式会社
代理人 (1件)： 伊東 忠彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-103894
公開番号（公開出願番号）：特開2001-289607
出願日： 2000年04月05日
公開日（公表日）： 2001年10月19日
要約：

【要約】【課題】 静電容量の変化を容易に検出することが可能であり、カルバノミラーの揺動角度を容易かつ高精度に検出することができる揺動角度検出方法および装置並びに光ディスク装置を提供することを目的とする。【解決手段】 反射ミラーを備えた可動部と、可動部を揺動可能に固定部に支持する支持部と、可動部と固定部との間に静電引力を発生させて可動部を揺動する駆動部18と、可動部を揺動する駆動用信号より高い周波数の検出用信号を印加する検出用信号印加部28と、可動部の揺動に従って変化する静電容量に応じた出力信号の振幅を検出する振幅検出部22,24とを有することにより上記課題を解決する。

請求項（抜粋）：

反射ミラーを備えた可動部の揺動角度を検出する揺動角度検出方法において、前記可動部とその可動部を支持部を介して支持する固定部とに一対に設けられる電極に、前記可動部を揺動する駆動用信号より高い周波数の検出用信号を印加する検出用信号印加段階と、前記一対に設けられた電極間の静電容量に従って変化する出力信号の振幅を検出する振幅検出段階とを有する揺動角度検出方法。

IPC (2件)：

G01B 7/30 ,  G11B 7/09

FI (3件)：

G01B 7/30 D ,  G11B 7/09 E ,  G11B 7/09 C

Fターム (19件)：

2F063AA31 ,  2F063BA30 ,  2F063BC05 ,  2F063DA01 ,  2F063DA05 ,  2F063DD03 ,  2F063HA01 ,  2F063HA04 ,  2F063KA01 ,  2F063KA04 ,  2F063LA23 ,  2F063LA30 ,  2F063ZA01 ,  2F063ZA02 ,  5D118AA13 ,  5D118BA01 ,  5D118CD18 ,  5D118CG38 ,  5D118DC07