湿式シール材、その製造方法、クリーンルーム、および局所設備

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：森哲也 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-174644
公開番号（公開出願番号）：特開平9-095661
出願日： 1996年07月04日
公開日（公表日）： 1997年04月08日
要約：

【要約】【課題】クリーンルーム内や半導体製造装置内等にガス状有機物を存在させないようにする。【解決手段】クリーンルームの壁材の連結用やパーティションの連結用などのために隙間に充填して使用される湿式シール材として、使用時にガス状有機物を発生しないものを用いる。具体的には、一液型ポリウレタン樹脂を主成分とし、滑剤として、炭素数19以下の脂肪族炭化水素および炭素数17以下の高級アルコールを含まないもの(例えばマイクロクリスタリンワックス)を使用する。可塑剤として分子量400以上のカルボン酸エステル等を、酸化防止剤として分子量300以上のフェノール系化合物を使用する。

請求項（抜粋）：

部材間の隙間に充填した後に硬化させる湿式シール材において、硬化後にポリウレタン樹脂となる主成分と、添加剤とからなり、前記主成分および添加剤の少なくとも一方はガス状有機物を発生しないものであることを特徴とする湿式シール材。

IPC (14件)：

C09K 3/10 , C08G 18/10 NFT , C08G 18/42 NDW , C08G 18/48 NDZ , C08K 5/00 , C08L 63/00 NJV , C08L 67/00 LPK , C08L 75/04 NFZ , C08L 91/06 LSJ , C09J175/04 JFG , C09J175/04 JFH , E04B 1/682 , F24F 7/06 , E04H 5/02

FI (15件)：

C09K 3/10 D , C09K 3/10 Z , C08G 18/10 NFT , C08G 18/42 NDW , C08G 18/48 NDZ , C08K 5/00 , C08L 63/00 NJV , C08L 67/00 LPK , C08L 75/04 NFZ , C08L 91/06 LSJ , C09J175/04 JFG , C09J175/04 JFH , F24F 7/06 C , E04H 5/02 B , E04B 1/68 L

引用特許：

出願人引用 (8件)

特開平3-140364
特開昭60-090284
特開平1-271476

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審査官引用 (29件)

特開平3-140364
特開平3-140364
特開平3-140364

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