特許

J-GLOBAL ID：200903079190534813

アクティブ除振装置および除振装置用複合アクチュエータ

発明者： 柳澤 通雄
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 伊東 哲也 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-075377
公開番号（公開出願番号）：特開2001-263415
出願日： 2000年03月17日
公開日（公表日）： 2001年09月26日
要約：

【要約】【課題】 小型で低発熱であり、微妙な機構調整を必要とせず、広帯域における微振動の除振を可能にする。【解決手段】 複合アクチュエータ200の、互いに対向する第1の対向板102および第2の対向板103と弾性膜であるゴム膜101とで形成される密閉空間115内に、第1の対向板102に固定された永久磁石106と、第2の対向板103に固定されたコイル104とを有し、密閉空間115内の圧力とコイル104の電流とを制御し、第1の対向板102を可動部とし第2の対向板103を固定部とし、振動検出のための加速度計408を可動部に備え、該加速度計408をコイル104の駆動信号源とする。

請求項（抜粋）：

対向する第1の対向板および第2の対向板と弾性膜とで形成される密閉空間内に、前記第1の対向板に固定された永久磁石磁気回路と、前記第2の対向板に固定されたコイルとを有し、前記密閉空間内の圧力と前記コイルの電流とを制御することによって前記第1の対向板と前記第2の対向板との間に推力を発生させる複合アクチュエータで除振対象物を支持することを特徴とするアクティブ除振装置。

Fターム (9件)：

3J048AA03 ,  3J048AB08 ,  3J048AB11 ,  3J048AC08 ,  3J048BE02 ,  3J048BE09 ,  3J048CB22 ,  3J048DA03 ,  3J048EA13