特許
J-GLOBAL ID：200903079194079339
クライオポンプ
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
熊谷 隆 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-258670
公開番号（公開出願番号）：特開平8-093643
出願日： 1994年09月27日
公開日（公表日）： 1996年04月09日
要約：
【要約】【目的】 簡単な構成で排気速度を一定に保つことができるクライオポンプを提供すること。【構成】 ポンプ運転中にガスを凝縮及び/又は吸着する第1段及び第2段のクライオパネル13,17、該第1及び第2のクライオパネル13,17を冷却する冷凍機部10を具備し、該冷凍機部10はエキスパンダモータ40により駆動されるエキスパンダ18により圧縮機からの常温高圧の作動ガスを断熱膨張させて極低温を発生させる冷却部であるクライオポンプにおいて、第1段のクライオパネル13の表面温度を検出する温度センサ35を設けると共に、該温度センサ35の出力により該第1段のクライオパネル13の表面温度を所定の範囲内に維持するようにエキスパンダモータ40の回転数を所定の範囲内で制御する制御部50を設けた。
請求項（抜粋）：
ポンプ運転中にガスを凝縮及び/又は吸着する第1段及び第2段のクライオパネル面、該第1段及び第2段のクライオパネル面を冷却する冷却手段を具備し、該冷却手段はヘリウムガスの膨張により寒冷状態を発生させるヘリウム冷凍機であるクライオポンプにおいて、前記第1段のクライオパネル面の温度を検出する温度センサを設けると共に、該温度センサの出力により該クライオパネル面の温度を所定の範囲内に維持するように前記時間あたりのヘリウムガスの膨張回数を所定の範囲内で制御する制御手段を設けたことを特徴とするクライオポンプ。
IPC (2件)：
引用特許：
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