特許
J-GLOBAL ID：200903079200477805
静電トルカ型加速度計
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
草野 卓 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-252122
公開番号（公開出願番号）：特開2001-074771
出願日： 1999年09月06日
公開日（公表日）： 2001年03月23日
要約：
【要約】【課題】 トルカ用電極の溶着、破損及び質量体の固定電極板への貼り付きを防止する。【解決手段】 ヒンジ12により変位可能に支持された板状質量体11の重心Gを通るその板面と垂直な軸上に位置するように、ストッパ31を質量体11の両板面にそれぞれ突出形成し、それらストッパ31の頂面に静電容量検出用電極21を設け、質量体11のストッパ31形成部を除く板面トルカ用電極22を設ける。質量体11に過大な変位が発生しても、ストッパ31が固定電極板14と接触することにより、トルカ用電極22と23との接触が回避される。また、ストッパ31によって質量体11が固定電極板14に接触した場合の接触面積を小さくすることができるため、貼り付きを防止できる。
請求項（抜粋）：
ヒンジにより変位可能に支持された板状質量体の両板面に対向して2つの固定電極板が配置され、それら質量体と2つの固定電極板との各間にそれぞれ静電容量検出用電極対とトルカ用電極対とが構成され、加速度入力による質量体の変位を静電容量の変化によって検出し、その検出出力に基づきトルカ用電極対に電圧を印加して質量体を中立位置に戻す構造とされた静電トルカ型加速度計であって、上記質量体の重心を通るその板面と垂直な軸上に位置して、上記質量体の両板面にストッパがそれぞれ突出形成され、それらストッパの頂面が上記静電容量検出用電極の構成部とされ、上記質量体の上記ストッパ形成部を除く板面に上記トルカ用電極が構成されていることを特徴とする静電トルカ型加速度計。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01P 15/13
, G01P 15/02 A
