特許
J-GLOBAL ID：200903079208592557
クリーンルーム
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
松浦 憲三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-222786
公開番号（公開出願番号）：特開平5-060356
出願日： 1991年09月03日
公開日（公表日）： 1993年03月09日
要約：
【要約】【目的】 清浄エアの搬送費用を軽減し、クリーンルーム10に据え付けられた製造設備22、24、26の周辺雰囲気を高い清浄度に維持する。【構成】 ファンフイルタユニット群14、18、20を製造設備22、24、26の上方にのみ配設すると共に、ファンフイルタユニット群14、18、20から吹き出される清浄エアが製造設備22、24、26の上面に於ける水平投影面を包含するように、その水平投影面の大きさに応じた台数で取付ける。また、ファンフイルタユニット群14、18、20から吹き出される清浄エアの気流速度を調節可能にする。製造設備22、24、26の運転中には、クリーンルーム10の許容塵埃濃度を維持する為の必要最小限の清浄エアをファンフイルタユニット群14、18、20から吹き出すようにし、また、製造設備22、24、26から半導体製品を取り出す時や製造設備22、24、26のメンテナンス時には、前記清浄エアの気流速度を速くして、製造設備22、24、26の周辺雰囲気のみを高い清浄度に維持する。
請求項（抜粋）：
空調装置からクリーンルームの天井室に供給された清浄エアを、天井面に配設された複数のファンフイルタユニットで加圧してクリーンルームに吹き出し、クリーンルームの床面から排気する下向流型のクリーンルームに於いて、前記ファンフイルタユニットは、クリーンルームに設置された製造設備の上方にのみ配置されると共に、ファンフイルタユニットから吹き出される清浄エアが前記製造設備の上面に於ける水平投影面を包含するように、その水平投影面の大きさに応じた台数で取付けられることを特徴とするクリーンルーム。
引用特許：
前のページに戻る
