特許
J-GLOBAL ID：200903079210870807
環境制御型走査電子顕微鏡
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
池内 義明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-053812
公開番号（公開出願番号）：特開平5-174765
出願日： 1991年02月26日
公開日（公表日）： 1993年07月13日
要約：
【要約】[目的] 対物レンズを構成する穴あき磁極と試料との間に真空配管を設けることで、真空排気装置を簡略化しかつ2次電子検出信号のS/N比を向上する。[構成] 電子銃からの電子ビームを対物レンズの磁場の中に配置された試料に照射して走査し、前記試料からの2次電子を低圧力の気体中を通して2次電子検出器により検出する電子光学系を有する環境制御型走査電子顕微鏡であって、前記試料と前記対物レンズの磁極の内前記電子ビームの通路側に位置する磁極との間に差動排気のための配管を設ける。該配管は前記電子ビームが通過するための開口を有し、かつ前記電子ビームの試料上の入射位置から前記2次電子検出器を見込む空間を遮らないようにするための切欠きを有する。
請求項（抜粋）：
電子銃からの電子ビームを対物レンズの磁場の中に配置された試料に照射して走査し、前記試料からの2次電子を低圧力の気体中を通して2次電子検出器により検出する電子光学系を有する環境制御型走査電子顕微鏡であって、前記試料と前記対物レンズの磁極の内前記電子ビームの通路側に位置する磁極との間に差動排気のための配管を設けたことを特徴とする環境制御型走査電子顕微鏡。
IPC (2件)：
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