特許
J-GLOBAL ID：200903079215204520
性状測定装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-316399
公開番号（公開出願番号）：特開平5-149719
出願日： 1991年11月29日
公開日（公表日）： 1993年06月15日
要約：
【要約】【目的】本発明は、光透過性の被測定体に対する微細な表面形状や厚みを測定しようとするものである。【構成】直線偏光さた光のうち一成分の偏光の位相を光学系(Q) の光位相変調素子(22)により変化し、この光位相変調素子(22)を透過した光をそれぞれ2つの偏光に分離して光透過性の被測定体(25)に照射する。そして、この被測定体(25)を透過した各光を光学系(Q) において再び同一光路に重ね合わされて干渉光とする。この干渉光は撮像装置(29)により撮像され、この撮像装置(29)により得られた各干渉画像データから測定処理手段(33)により被測定体(25)の厚み又は屈折率分布が求められる。
請求項（抜粋）：
直線偏光した光のうち一成分の偏光の位相を光位相変調素子により変化させ、この光位相変調素子を透過した光をそれぞれ2つの偏光に分離して光透過性の被測定体に照射し、この被測定体を透過した各光を再び同一光路に重ね合わせて干渉光を得る光学系と、この光学系により得られた干渉光を受像する撮像装置と、この撮像装置の撮像により得られた各干渉画像データから前記被測定体の性状を求める測定処理手段とを具備したことを特徴とする性状測定装置。
IPC (3件)：
G01B 11/06
, G01B 11/24
, G01N 21/45
