特許

J-GLOBAL ID：200903079215285643

透過型電子顕微鏡の撮影装置

発明者： 本田敏和 ,  津野久幸
出願人/特許権者： 日本電子株式会社
代理人 (1件)： 蛭川 昌信 (外7名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-020984
公開番号（公開出願番号）：特開平5-217537
出願日： 1992年02月06日
公開日（公表日）： 1993年08月27日
要約：

【要約】【目的】 透過型電子顕微鏡の撮影において、スルーフォーカス機能を用いてより高分解能な情報を能率よくとり込む。【構成】 デフォーカス量をステップ状に変化させて写真撮影するスルーフォーカス機能を有する透過型電子顕微鏡において、デフォーカス条件を(mcS λ)1/2 (m:奇数,cS :球面収差係数,λ:波長)としてスルーフォーカス写真撮影を行う。【効果】 より広範囲な空間周波数に対して位相コントラストが一定となる条件を満たしたスルーフォーカスの写真を得ることができ、これらを組み合わせることにより、より高分解能な像情報を得ることが可能となる。

請求項（抜粋）：

デフォーカス量をステップ状に変化させて写真撮影するスルーフォーカス機能を有する透過型電子顕微鏡において、デフォーカス条件を(mcS λ)1/2 (m:奇数,cS :球面収差係数,λ:波長)としてスルーフォーカス写真撮影を行うようにしたことを特徴とする透過型電子顕微鏡の撮影装置。

IPC (5件)：

H01J 37/22 ,  H01J 37/141 ,  H01J 37/21 ,  H01J 37/248 ,  H01J 37/26