特許
J-GLOBAL ID:200903079218104852

カソ-ドルミネッセンス分析装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 竹本 松司 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-005191
公開番号(公開出願番号):特開2000-206046
出願日: 1999年01月12日
公開日(公表日): 2000年07月28日
要約:
【要約】【課題】 カソードルミネッセンス分析において、複数の波長域のCL光による同時分析を行う。【解決手段】 カソードルミネッセンス光を集光する取り出し部2と、取り出したカソードルミネッセンス光を2以上の光路に光分配する光分配器3と、光分配器3で光分配したカソードルミネッセンス光を導入し、各分光波長域で分光する複数の分光器4,5と、各分光器4,5で分光したカソードルミネッセンス光を検出する検出器6,7とを備えた構成とし、光分配器3複数の各分光器4,5にカソードルミネッセンス光を同時に導くことによって、複数の波長域のCL光を同時に分析する。
請求項(抜粋):
カソードルミネッセンス光を集光する取り出し部と、取り出したカソードルミネッセンス光を2以上の光路に光分配する光分配器と、前記光分配器で光分配したカソードルミネッセンス光を導入し、各分光波長域で分光する複数の分光器と、前記各分光器で分光したカソードルミネッセンス光を検出する検出器とを備える、カソードルミネッセンス分析装置。
Fターム (15件):
2G043AA01 ,  2G043CA05 ,  2G043DA05 ,  2G043DA06 ,  2G043EA11 ,  2G043FA01 ,  2G043FA06 ,  2G043GA04 ,  2G043GA07 ,  2G043GA08 ,  2G043GB19 ,  2G043GB28 ,  2G043HA09 ,  2G043JA01 ,  2G043LA02

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