特許
J-GLOBAL ID：200903079231122924
試料検査装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-169922
公開番号（公開出願番号）：特開平11-016967
出願日： 1997年06月26日
公開日（公表日）： 1999年01月22日
要約：
【要約】【課題】同一設計パターン上の欠陥,異物,残渣等を電子ビームにより高速に検査する。【解決手段】繰り返しパターンが配置された試料2の異なったパターンに別々の電子ビーム系20a,20bによって得られた電子ビーム26a,26bを同時に照射し、かつ、両電子ビーム系20a,20bの間に設置した阻止電極によって各照射部から発生した電子を独立して検出し、得られる画像信号を比較する。
請求項（抜粋）：
試料表面に電子ビームを照射する電子ビーム照射手段と上記電子ビームの照射によって発生する電子を検出する検出器との組を複数有する電子ビーム系と、上記試料を保持して上記電子ビームが上記試料を照射している間に少なくとも一方向に連続的移動可能な試料ステージと、上記各々の電子ビーム照射手段の間に配した阻止電極と、上記それぞれの検出器から得られる信号を比較して上記試料の欠陥を検出する演算手段とを具備することを特徴とする試料検査装置。
IPC (2件)：
FI (5件)：
H01L 21/66 L
, H01L 21/66 C
, H01L 21/66 J
, H01L 21/66 Z
, H01J 37/28 A
