特許
J-GLOBAL ID：200903079237564600
基板搬送装置
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-302551
公開番号（公開出願番号）：特開2000-133926
出願日： 1998年10月23日
公開日（公表日）： 2000年05月12日
要約：
【要約】【課題】 搬送レールの角度調整によってセンターガイドとの平行度がずれることがなく、またセンターガイドの高さ調整によって搬送レールとの平行度がずれることがない基板搬送装置を提供する。【解決手段】 基板の両側縁を支持して搬送する2本の搬送レール1と、該搬送レール1間にこれらと平行に配設され、基板下面に摺接して基板を支持するセンターガイド4とを備えた基板搬送装置において、前記搬送レール1の両端部で前記2本の搬送レール1および前記センターガイド4を相互に連結し、前記センターガイドの両端部にそれぞれ高さ調整手段6を設けるとともに、これらの高さ調整手段6同士が連動するように構成した。
請求項（抜粋）：
基板の両側縁を支持して搬送する2本の搬送レールと、該搬送レール間にこれらと平行に配設され、基板下面に摺接して基板を支持するセンターガイドとを備えた基板搬送装置において、前記搬送レールの両端部で前記2本の搬送レールおよび前記センターガイドを相互に連結し、前記センターガイドの両端部にそれぞれ高さ調整手段を設けるとともに、これらの高さ調整手段同士が連動するように構成したことを特徴とする基板搬送装置。
Fターム (2件)：
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