特許
J-GLOBAL ID：200903079238759405
表示装置及びその製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
豊田 善雄 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-178711
公開番号（公開出願番号）：特開平9-073103
出願日： 1996年06月20日
公開日（公表日）： 1997年03月18日
要約：
【要約】【課題】 表示装置において、画素を構成する導電性部材表面の凹凸をなくし、該凹凸に由来する乱反射や、液晶表示装置の場合の配向不良を防止し、高画質な表示を行なう。【解決手段】 TFTを作り込んだ半導体基板1全面にSiN10及びPSG11を成膜し、SiN10をストッパーとしてPSG11をパターニングし、全面に画素電極13を成膜した後、ケミカルメカニカルポリシングにより表面層を研磨し、PSG11を露出させて個々の画素電極を絶縁分離すると同時に画素電極13表面を鏡面状に研磨する。
請求項（抜粋）：
実質的に平坦な面を有し画素を構成する導電性部材を、基板上に複数個配してなる表示装置において、前記各導電性部材の端部に、前記実質的に平坦な面に連続し、且つ実質的に平坦な面を有する絶縁性部材を配したことを特徴とする表示装置。
IPC (4件)：
G02F 1/136 500
, G09F 9/30 338
, H01L 29/786
, H01L 21/336
G02F 1/136 500
, G09F 9/30 338 Z
, H01L 29/78 627 A
