特許
J-GLOBAL ID：200903079241358950
プラズマ発生装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
筒井 大和
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-147795
公開番号（公開出願番号）：特開平5-343334
出願日： 1992年06月09日
公開日（公表日）： 1993年12月24日
要約：
【要約】【目的】 空洞共振器のスリット開口面積に起因するプラズマ発生の偏りを低減できるようにする。【構成】 少なくとも1つのスリットを備えた空洞共振器にマイクロ波発振源からのマイクロ波を導いて共振させ、そのマイクロ波を前記スリットを介して処理室に放射することにより該処理室内にプラズマを発生させるプラズマ発生装置であって、前記空洞共振器に配設される共振子15を同一形状の2枚の板を同軸に且つ相対回転可能に構成し、その各々に設けられるスリット16を同一形状、同一サイズ及び同一位置に形成し、2つの円板の相対回転によって開口面積を可変できるようにし、プラズマの生成が均一になるようにする。
請求項（抜粋）：
少なくとも1つのスリットを備えた空洞共振器にマイクロ波発振源からのマイクロ波を導いて共振させ、そのマイクロ波を前記スリットを介して処理室に放射することにより該処理室内にプラズマを発生させるプラズマ発生装置であって、前記空洞共振器に配設される共振子のスリットの開口面積を可変する可変手段を設けたことを特徴とするプラズマ発生装置。
IPC (2件)：
H01L 21/205
, H01L 21/302
