基板の洗浄方法

発明者： ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：大胡典夫 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-157068
公開番号（公開出願番号）：特開2001-334218
出願日： 2000年05月26日
公開日（公表日）： 2001年12月04日
要約：

【要約】【課題】スピンカップを用いた洗浄方法では、基板の表面側にミストが付着したり、ダメージを与えることがあり、このために液晶表示パネルの品位が劣化し、歩留まりも悪化していた。これを改善し、基板表面側にミストが付着、もしくはダメージを与えることがない基板の洗浄方法を提供する。【解決手段】スピンカップ12を構成する回転可能なスピンテーブル18に、基板35を載置固定し、基板35の表面側に第1の溶液36を吐出させると共に、基板35の裏面側にも第2の溶液37を吐出させる際に、第1の溶液36の液量を、第2の溶液37の液量に対して多く設定する。【効果】基板35表面側においては、第2の溶液37によるミストの付着やダメージの発生が防止でき、基板35としての品位向上が図れ、延いてはこの基板35を使用する製品の品質向上、及び歩留まりの向上を図ることができる。

請求項（抜粋）：

回転可能なスピンテーブル上に基板を載置固定し、このスピンテーブルを回転させると共に、この基板の一平面側に第1の溶液を吐出し、この基板の他平面側に、前記第1の溶液よりも少量の第2の溶液を吐出させることを特徴とする基板の洗浄方法。

IPC (6件)：

B08B 3/02 , B08B 3/08 , G02F 1/13 101 , G02F 1/1333 500 , H01L 21/304 643 , H01L 21/304 647

FI (6件)：

B08B 3/02 B , B08B 3/08 Z , G02F 1/13 101 , G02F 1/1333 500 , H01L 21/304 643 A , H01L 21/304 647 Z

Fターム (20件)：

2H088FA21 , 2H088FA30 , 2H088MA20 , 2H090JB02 , 2H090JC01 , 2H090JC19 , 3B201AA02 , 3B201AB01 , 3B201AB34 , 3B201AB42 , 3B201BA02 , 3B201BB22 , 3B201BB85 , 3B201BB92 , 3B201BB93 , 3B201BB96 , 3B201CB12 , 3B201CC01 , 3B201CC11 , 3B201CC21

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