特許
J-GLOBAL ID：200903079255327535
ペリクルおよびペリクル板とペリクルフレームとの接着方法
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
小栗 昌平 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-231220
公開番号（公開出願番号）：特開2002-040628
出願日： 2000年07月31日
公開日（公表日）： 2002年02月06日
要約：
【要約】【課題】 ペリクル板の変形を抑制する。【解決手段】 合成石英ガラスからなるペリクル板5が、合成石英ガラスより熱膨張係数が小さい材料からなるペリクルフレーム6に接着されてなるペリクル11。
請求項（抜粋）：
合成石英ガラスからなるペリクル板が接着剤によりペリクルフレームに接着されてなるペリクルにおいて、前記ペリクルフレームが、合成石英ガラスより熱膨張係数が小さい材料からなることを特徴とするペリクル。
Fターム (2件)：
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