特許
J-GLOBAL ID：200903079258178450
マイクロマシンスイッチ
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
岩橋 文雄 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-015049
公開番号（公開出願番号）：特開2003-217421
出願日： 2002年01月24日
公開日（公表日）： 2003年07月31日
要約：
【要約】【課題】 高周波信号の切り替えを行うマイクロマシンスイッチにおいて、スイッチ機構の構成が簡単で且つ高周波信号を効率良く遮断することで、低消費電力且つ高信頼性を実現することを目的とする。【解決手段】 基板上に形成された信号線路導体12と、高周波信号の通過を遮断する駆動短絡機構15と、制御信号を与えることにより駆動短絡機構15を変位させる駆動手段である圧電体16とを備え、圧電体16に制御信号として電圧を印加することで、信号線路導体12と接地導体13とが駆動短絡機構底面の導電層17を介して短絡し、高周波信号を効率良く遮断することができる。
請求項（抜粋）：
基板上に形成された信号線路導体と、前記信号線路導体の高周波信号の通過を遮断する駆動短絡機構と、制御信号を与えることにより前記駆動短絡機構を変位させる駆動手段と、を備えていることを特徴とするマイクロマシンスイッチ。
IPC (4件)：
H01H 57/00
, B81B 3/00
, H01L 41/09
, H01P 1/12
H01H 57/00 A
, H01H 57/00 C
, B81B 3/00
, H01P 1/12
, H01L 41/08 U
