特許

J-GLOBAL ID：200903079261960835

化学気相析出用の有機金属化合物溶液

発明者： 小林 一三 ,  中井 知章 ,  林田 茂 ,  杉森 由章
出願人/特許権者： 日本酸素株式会社
代理人 (1件)： 志賀 正武 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-238386
公開番号（公開出願番号）：特開平5-117855
出願日： 1991年09月18日
公開日（公表日）： 1993年05月14日
要約：

【要約】【構成】 β-ジケトンであるジピバロイルメタン((CH3)3CCOCH2COC(CH3)3;DPMと略記)の金属錯体Y(DPM)3、Ba(DPM)2、およびCu(DPM)2を、同一の溶媒テトラヒドロフランに溶解させて混合溶液とする。この有機金属化合物溶液を単一の蒸発器を経由してCVD装置に供給し、Y-B-C系の超電導体薄膜を形成する。【効果】 固体では不安定なβ-ジケトネート金属錯体を溶液状態とすることによって、保存安定性を向上できる。CVD法において工程の安定化、生産性および製品品質の向上が図れる。複数種の有機金属化合物を同一の溶液に溶解させて、CVD法に供し、単一の気化装置で複合酸化物が得られる。

請求項（抜粋）：

少なくとも1種のβ-ジケトネート金属錯体を、酸塩基両性を示す両性有機溶媒であって水酸基を有する有機溶媒、両性有機溶媒であって親プロトン性を示す有機溶媒、プロトンを放出する性質がほとんどない非プロトン性有機溶媒であって親プロトン性を示す有機溶媒、非プロトン性有機溶媒であって疎プロトン性を示す有機溶媒、および非プロトン性有機溶媒であって不活性を示す有機溶媒からなる群から選ばれる少なくとも1種からなる溶媒に溶解してなることを特徴とする化学気相析出用の有機金属化合物溶液。

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特開平3-037101
  
• 特開平4-089378