特許

J-GLOBAL ID：200903079266064196

光触媒の製造装置及び方法

発明者： 山下 信樹 ,  利根川 裕
出願人/特許権者： 三菱重工業株式会社
代理人 (1件)： 奥山 尚一 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-152464
公開番号（公開出願番号）：特開2001-327871
出願日： 2000年05月24日
公開日（公表日）： 2001年11月27日
要約：

【要約】【課題】 注入物質を酸化チタン粉末へ、該酸化チタン粉末を構成する酸化粉体の全体にイオンを注入し、かつこれを経済的に行う光触媒の製造方法及び装置を提供する。【解決手段】 真空容器1と、該真空容器1内に設置された酸化チタン粉末2を収納するホルダー3と、注入物質から成るカソード14と、該カソード14の周囲にあるアノード15との間のアーク放電によって上記注入物質を蒸発イオン化させるアーク式蒸発源12と、該アーク式蒸発源12で発生した蒸気、パーティクル、イオン等のうち、イオンのみを上記真空容器1に導くフィルター13と、上記真空容器1の電位を基準にして、上記ホルダー3に負のパルスバイアス電圧を印加する電源24とを含むこととした。

請求項（抜粋）：

真空容器と、該真空容器内に設置された酸化チタン粉末を収納するホルダーと、注入物質から成るカソード及び該カソードの周囲にあるアノードを含み、これらのカソードとアノードの間のアーク放電によって上記注入物質を蒸発イオン化させるために上記真空容器に取り付けられたアーク式蒸発源と、該アーク式蒸発源で発生した蒸気、パーティクル、イオン等のうち、イオンのみを上記真空容器に導くフィルターと、上記真空容器の電位を基準にして上記ホルダーに負のパルスバイアス電圧を印加する電源とを含むことを特徴とする光触媒の製造装置。

IPC (8件)：

B01J 35/02 ,  B01J 23/22 ,  B01J 23/26 ,  B01J 23/745 ,  B01J 23/755 ,  B01J 37/02 301 ,  C01G 23/047 ,  C23C 14/48

FI (8件)：

B01J 35/02 J ,  B01J 23/22 M ,  B01J 23/26 M ,  B01J 37/02 301 P ,  C01G 23/047 ,  C23C 14/48 Z ,  B01J 23/74 301 M ,  B01J 23/74 321 M

Fターム (28件)：

4G047CA02 ,  4G047CB09 ,  4G047CC03 ,  4G047CD03 ,  4G047CD07 ,  4G069AA08 ,  4G069AA09 ,  4G069AA14 ,  4G069BA04A ,  4G069BA04B ,  4G069BA04C ,  4G069BA48A ,  4G069BA48C ,  4G069BC54B ,  4G069BC58B ,  4G069BC66B ,  4G069BC68B ,  4G069CA01 ,  4G069CA10 ,  4G069CA17 ,  4G069FB02 ,  4G069FB79 ,  4K029AA04 ,  4K029AA22 ,  4K029BD00 ,  4K029CA10 ,  4K029CA13 ,  4K029CA17