高研磨性と高熱伝導率を有する炭化ケイ素の製造方法とその用途

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：宇井正一 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-189696
公開番号（公開出願番号）：特開平6-199513
出願日： 1993年07月30日
公開日（公表日）： 1994年07月19日
要約：

【要約】【目的】磁気記録媒体、具体的にはメモリディスク、読取り書込みヘッド等のヘッドディスクアセンブリーの部品に好適な高研磨性と高熱伝導率を有する自立式の炭化ケイ素を提供する。【構成】メチルトリクロロシランと水素を高温の雰囲気中に導入して、熱分解によって炭化ケイ素をマンドレルの上に例えば2〜3mm堆積させ、マンドレルはその後炭化ケイ素成形体より取り外して無垢の超高純度炭化ケイ素成形体を得る。堆積チャンバーの温度は約1340〜1380°C、圧力は約180〜220トールとし、これ等の条件は厳密に制御する。酸素は実質的に存在しないことが必要であり、好ましくは供給する水素ガスより触媒を用いて連続的に除去する。炉の断熱材等から粒状物が混入することがあり、断熱材をセラミックで覆う等の適切な手段を設けた堆積チャンバーを含む炉を用いる。

請求項（抜粋）：

室温で少なくとも約300W/m・Kの熱伝導率を有する化学蒸着によって得た自立式の炭化ケイ素。

IPC (6件)：

C01B 31/36 , C04B 35/56 101 , C04B 35/56 , C23C 16/32 , G11B 5/704 , G11B 5/84

引用特許：

審査官引用 (5件)

特開平3-252307
特開平2-141404
特開平2-022473

全件表示

前のページに戻る