特許
J-GLOBAL ID：200903079276447468
フイルム研磨材を用いた平面研磨装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
和田 昭
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-350769
公開番号（公開出願番号）：特開平6-170713
出願日： 1992年12月03日
公開日（公表日）： 1994年06月21日
要約：
【要約】【目的】 液晶用ガラス板やプリント基板等に対する高能率な平滑加工法、又は面の不純物除去加工法として、弾性に富み、安定した加工能力と加工精度を得るために、完全なクロスハッチの超仕上げ振動を付加することのできる研磨装置を提供することを目的とする。【構成】 フイルム研磨材送り機構及びフイルム研磨材振動部を有する研磨装置1と、この研磨装置の下側に水平に伸びるスライド4を有する加工物送り装置を備えた平面研磨装置において、二つの加工物取付台6,7を前記スライド4上に移動自在に取り付け、加工物取付台振動装置によりこの二つの加工物取付台6と7に相反する方向でかつ研磨装置1のフイルム研磨材2の振動方向と直角方向の往復振動を与えることにより、加工物取付台6と7の振動衝撃を緩和しながら平面超仕上げを行なうフイルム研磨材を用いた平面研磨装置。
請求項（抜粋）：
フイルム研磨材送り機構及びフイルム研磨材振動部を有する研磨装置と、加工物送り装置を備えた平面研磨装置において、二つの加工物取付台を水平方向に伸びるスライド上に移動自在に取り付け、加工物取付台振動装置によりこの二つの加工物取付台に同時に相反する方向でかつ研磨装置のフイルム研磨材の振動方向と直角方向の往復振動を与えることにより、加工物取付台の振動衝撃を緩和しながら平面超仕上げを行なうことを特徴とするフイルム研磨材を用いた平面研磨装置。
IPC (2件)：
前のページに戻る
