特許

J-GLOBAL ID：200903079280571262

光学装置の製造法

発明者： 山岸 智明 ,  佐々木 範
出願人/特許権者： 日立化成工業株式会社
代理人 (1件)： 若林 邦彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-319727
公開番号（公開出願番号）：特開平7-174930
出願日： 1993年12月20日
公開日（公表日）： 1995年07月14日
要約：

【要約】【目的】 光学装置用材料として用いられているフッ素を含むポリイミド系樹脂被膜の基板に対する接着性を上げることにより、光学装置の信頼性を向上させる。【構成】 基板表面上に、有機ジルコニウム化合物の被膜を形成後に、フッ素を含むポリイミド系樹脂被膜を形成する光学装置の製造法。

請求項（抜粋）：

基板表面上に有機ジルコニウム化合物の被膜を形成した上に、フッ素を含むポリイミド系樹脂被膜を形成することを特徴とする光学装置の製造法。

IPC (3件)：

G02B 6/13 ,  G02B 6/12 ,  H01L 33/00

FI (2件)：

G02B 6/12 M ,  G02B 6/12 N

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開平4-235506
  
• 特開昭55-099728
  
• 特開昭56-131949
  
• 特開昭57-030335