特許

J-GLOBAL ID：200903079282800528

電子線照射装置及び走査型電子顕微鏡装置

発明者： 渡邊 壮俊 ,  大塚 満
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 山下 亮一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-026678
公開番号（公開出願番号）：特開2003-229086
出願日： 2002年02月04日
公開日（公表日）： 2003年08月15日
要約：

【要約】【目的】 小型化された微小電子光学鏡筒において、電子線を細く収束可能な微小静電レンズを有する微小電子光学鏡筒を、試料に対する正確な位置設定可能な電子線照射装置及び走査電子顕微鏡を提供すること。【構成】 電子線源と、電子線源から放出された電子を加速する加速電極と、加速された電子線を試料表面上に収束する電子レンズから成る電子光学鏡筒部と、レンズ及びミラーによる光学系から成る光学顕微鏡部とで構成され、且つ、前記電子光学鏡筒部が前記光学顕微鏡に対して試料側に光軸上に同軸配置して電子線照射装置を構成する。又、電子光学鏡筒部と試料との相対位置を移動させることによって電子線の試料上への照射位置を走査する手段と、試料への電子線照射により発生した2次電子及び反射電子を捕らえる手段を含んで走査型電子顕微鏡装置を構成する。

請求項（抜粋）：

電子線源と、電子線源から放出された電子を加速する加速電極と、加速された電子線を試料表面上に収束する電子レンズから成る電子光学鏡筒部と、レンズ及びミラーによる光学系から成る光学顕微鏡部とで構成され、且つ、前記電子光学鏡筒部が前記光学顕微鏡に対して試料側に光軸上に同軸配置されたことを特徴とする電子線照射装置。

IPC (4件)：

H01J 37/28 ,  G02B 21/00 ,  G21K 5/04 ,  H01L 21/66

FI (4件)：

H01J 37/28 B ,  G02B 21/00 ,  G21K 5/04 M ,  H01L 21/66 C

Fターム (20件)：

2H052AA09 ,  2H052AB05 ,  2H052AC04 ,  2H052AC27 ,  2H052AC33 ,  2H052AD02 ,  2H052AD09 ,  2H052AD31 ,  2H052AF07 ,  2H052AF10 ,  2H052AF14 ,  4M106AA01 ,  4M106AA02 ,  4M106BA02 ,  4M106CA38 ,  4M106DB01 ,  5C033UU01 ,  5C033UU02 ,  5C033UU03 ,  5C033UU10