特許
J-GLOBAL ID：200903079286133739
真空バルブ
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
則近 憲佑
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-167596
公開番号（公開出願番号）：特開平8-031276
出願日： 1994年07月20日
公開日（公表日）： 1996年02月02日
要約：
【要約】【目的】 接触子を改善して耐電圧性能を向上させた真空バルブを得る。【構成】 真空容器内に接離可能に配置した一対の電極の対向表面に接触子を設ける。さらに、接触子の表面に高エネルギー密度のエネルギーを照射することにより凹凸を有する改質層1を形成する。
請求項（抜粋）：
絶縁円筒の両端を封着して成る真空容器内に接離可能に配置した一対の電極と、この電極の背面に接続される通電軸と、前記電極の対向表面に設けた接触子と、この接触子の表面に高エネルギー密度のエネルギーを照射することにより形成され凹凸を有する改質層とを有する真空バルブ。
引用特許：
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