特許
J-GLOBAL ID：200903079288471763
板状体片面の成膜方法及びその装置
発明者：
,
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
松浦 憲三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-083460
公開番号（公開出願番号）：特開平7-292476
出願日： 1994年04月21日
公開日（公表日）： 1995年11月07日
要約：
【要約】【構成】 サイドウインド用板ガラス18等の板状体の片面を覆うマスキング板12を備え、マスキング板12の片面にシール部14を設けた。シール部14は板状体の全周縁に接触し、さらに、シール部14はマスキング板12と板状体との間の空間19をシールする。また、減圧手段16は空間19を減圧して板状体をマスキング板12に吸着する。【効果】 サイドウインド用板ガラス等の板状体をシール部に接触させて、マスキング板と板状体との間のシール空間を減圧するだけで、板状体をマスキング板に吸着する。これにより、板状体の片面を容易にマスキングすることができるので、板状体の片面への成膜作業が効率よく行われる。
請求項（抜粋）：
板状体の外形形状に対応したシール部が設けられたマスキング板に板状体の片面を当接して、前記マスキング板と前記板状体の片面との間の空間を前記シール部でシールし、この状態で前記シールされた空間を減圧して前記板状体を前記マスキング板に吸着し、前記板状体の片面と反対側の片面を成膜することを特徴とする板状体片面の成膜方法。
IPC (5件)：
C23C 18/06
, B05D 1/32
, B60J 1/00
, C03C 17/00
, G02B 1/10
