特許

J-GLOBAL ID：200903079292868210

分割探針の製造方法

発明者： 白川部 喜春 ,  高橋 和貴 ,  完山 正林
出願人/特許権者： エスアイアイ・ナノテクノロジー株式会社
代理人 (1件)： 松下 義治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-110628
公開番号（公開出願番号）：特開2004-317255
出願日： 2003年04月15日
公開日（公表日）： 2004年11月11日
要約：

【課題】ダメージの少ない、より微細な分割探針の簡便な製造方法を提供することを課題とする。【解決手段】マイクロカンチレバー6全体を傾斜させることで、探針先端中心を判別しやすくして加工位置の決定をする。前記加工位置のごく狭い範囲に、小さな集束イオンビーム電流量を用いて、溝加工1、2を行なう。溝1、2につらなる広い範囲の溝加工に、上記の集束イオンビーム電流量よりも大きな集束イオンビーム電流量を用いて溝3を加工し電極を切断する。【選択図】 図4

請求項（抜粋）：

マイクロカンチレバー上の探針先端を溝加工する分割探針製造工程において、 マイクロカンチレバー全体を傾斜する工程と、 前記傾斜したマイクロカンチレバーの探針の先端部に集束イオンビームを走査、照射し、SIM像を得る工程と、 前記得られたSIM像から前記探針先端の中心位置決めを行う工程と、 前記位置決めされた中心位置に集束イオンビームを走査、照射することにより第1の溝を形成することを特徴とする分割探針の製造方法。

IPC (5件)：

G01N13/16 ,  B82B3/00 ,  G01B15/00 ,  G01N13/12 ,  G12B21/02

FI (5件)：

G01N13/16 C ,  B82B3/00 ,  G01B15/00 Z ,  G01N13/12 D ,  G12B1/00 601A

Fターム (7件)：

2F067AA03 ,  2F067CC00 ,  2F067HH08 ,  2F067KK04 ,  2F067NN01 ,  2F067SS02 ,  2F067SS13

引用特許：

審査官引用 (4件)

• ナノピンセット及びこれを用いたナノマニピュレータ装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-112767   出願人：中山喜萬, 大研化学工業株式会社
• はり部材およびはり部材を用いた試料加工装置ならびに試料摘出方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-136829   出願人：株式会社日立製作所
• 断面加工方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-172155   出願人：株式会社日立製作所
• 集束イオンビーム加工方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-021735   出願人：株式会社日立製作所