特許

J-GLOBAL ID：200903079296341860

露光装置

発明者： 野元 誠
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 伊東 哲也
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-187808
公開番号（公開出願番号）：特開2002-008968
出願日： 2000年06月22日
公開日（公表日）： 2002年01月11日
要約：

【要約】【課題】 温調器を取り巻く環境を均一な温度に維持し、適切な温度制御を行うことのできる露光装置を提供する。【解決手段】 原版に形成されたパターンを基板上に転写露光する露光装置において、露光装置の温調エアーを制御する温調器の環境に温調エアーを供給し、温調器まわりの環境を恒温維持する手段を有し、前記恒温維持する手段は、温調器ケース11および配管15からなり、温調器ケース11にはエアー供給口12、エアー排出口13、および調整用扉14が備えられている。

請求項（抜粋）：

原版に形成されたパターンを基板上に転写露光する露光装置において、前記露光装置の温調エアーを制御する温調器の環境に該温調エアーを供給し、該温調器まわりの環境を恒温維持する手段を有することを特徴とする露光装置。

IPC (2件)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/20 521

FI (3件)：

G03F 7/20 521 ,  H01L 21/30 516 F ,  H01L 21/30 502 G

Fターム (7件)：

5F046AA17 ,  5F046AA22 ,  5F046AA28 ,  5F046DA26 ,  5F046DA27 ,  5F046DB02 ,  5F046DB03